반도체용 초순수 생산기술 국산화 돌입
반도체용 초순수 생산기술 국산화 돌입
  • 채덕종 기자
  • 승인 2021.11.18 16:43
  • 댓글 0
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SK실트론 구미2공장에 국산기술 적용한 초순수 실증플랜트 착공
환경부·수자원공사·환경산업기술원, 2025년 설계·운영 100% 목표
▲한정애 환경부 장관(왼쪽 4번째)이 SK실트론 구미공장에서 초순수 실증플랜트 기공식을 가지고 있다.
▲한정애 환경부 장관(왼쪽 4번째)이 SK실트론 구미공장에서 초순수 실증플랜트 기공식을 가지고 있다.

[이투뉴스] 대부분 외국업체에 의존했던 고순도 공업용수를 국산화하기 위한 첫걸음이 시작됐다. 반도체 및 전자 분야에서 주로 세척용 등으로 쓰이는 초순수다. 환경부(장관 한정애)는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 ‘고순도 공업용수 실증플랜트 착공식’을 16일 SK실트론 구미공장에서 가졌다.

이번 착공식을 시작으로 환경부 산하 공공기관과 민간업계는 2025년까지 ▶초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치 ▶초저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▶고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.

착공한 실증플랜트는 초순수 생산기술을 신속하게 개발하고 성능을 확인할 수 있도록 반도체 소재 생산기업인 SK실트론 공장 내에 설치했다. 해외기술과 국내기술을 직접 비교하는 것은 물론 실제 초순수를 공급해 관련 기술의 실적을 확보한다는 의미가 있다.

수자원공사와 연구개발 참여기업은 2025년까지 하루 2400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 설치·운영해 관련 생산공정의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심기자재 60% 국산화를 목표로 하고 있다.

초순수(Ultra Pure Water)는 초미세회로(nano meter)로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 등을 세척하는데 사용되는 필수 공업용수다. 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고 난이도의 수처리 기술이 필요해 세계적으로 일부 선진국만이 생산기술을 보유하고 있다.

우리나라 반도체 기업에서는 반도체용 초순수 생산과 공급을 일본, 프랑스 등 해외기술에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다. 반도체 외에도 전자, 의약, 철강 등 주요 산업에서 사용되는 고순도 공업용수의 글로벌 시장규모는 2024년 23조원 규모까지 성장할 것으로 추산되고 있다.

반도체용 초순수 국산화는 2030년까지 510조원 이상의 투자를 통해 종합반도체 강국으로 도약하겠다는 ‘한국형(K) 반도체 전략’의 일환이다. 반도체 품질과 직결되는 초순수 생산기술의 국산화를 통해 일본기업이 주도하는 세계시장에 국내기업이 진출하는 발판이 마련될 것으로 기대된다.

한정애 환경부 장관은 “반도체의 품질과 직결되는 공업용수이자 핵심소재임에도 불구하고 일본, 미국, 프랑스 등 일부 선진국에 의존하던 반도체용 초순수 생산기술의 자립을 위해 환경부가 앞장설 것”이라고 말했다.

채덕종 기자 yesman@e2news.com 


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