핵융합 파생 기술인 플라즈마 응용기술의 확산 기대
반도체 및 디스플레이 산업의 가격경쟁력을 높이고 플라즈마를 활용하는 고부가가치의 신기술 창출에 필수적인 '플라즈마물성 데이터'의 참고표준 개발이 본격화된다.
참조표준이란 연구결과에 의해 생산된 데이터 중 사회 모든 분야에서 널리 사용될 수 있도록 국가가 평가해 신뢰도를 공인한 과학기술 데이터를 말한다.
핵융합연구센터는 산업자원부로부터 제1호 데이터 센터이자 산업용 원자 및 분자물성 분야의 참고표준 데이터 개발을 담당하는 플라즈마물성데이터센터의 주관기관으로 지정받았다고 27일 밝혔다.
플라즈마물성데이터란 플라즈마 내에서 일어나는 입자들의 충돌에 따른 데이터로 플라즈마의 이해를 위한 필수 요소이자 반도체 장비 설계 및 제작 등 반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 정보에 해당한다.
플라즈마물성데이터센터(데이터센터책임자 이봉주)는 핵융합에너지의 파생기술 중 하나인 플라즈마 응용기술의 확산과 관련 산업체의 지원 기반이 되는 플라즈마물성데이터베이스 구축과 플라즈마물성과 관련한 참조표준 생산 구축을 이끌게 된다. 이를 위해 앞으로 5년 동안 반도체 제조공정에 사용되는 약 500건의 참조표준을 개발하고 플라즈마 소스용 가스 물성 등 5개의 참조표준 데이터베이스를 구축할 예정이다.
플라즈마물성데이터센터의 이봉주 박사는 "이번 플라즈마물성데이터센터의 지정을 통해 핵융합에너지의 파생기술인 플라즈마 응용 기술의 확산과 산업체 지원 기반을 마련하게 됐다"며 "해외의 고가 정보이용료 때문에 플라즈마물성 정보를 이용할 수 없었던 국내 반도체 관련 중소기업체에 플라즈마물성 참조표준을 제공할 수 있게 됨에 따라 국제 경쟁력 강화에 기여할 것으로 보고 있다"고 밝혔다.
한편 우리나라는 그동안 반도체 제조 공정에서 약 80% 이상 직간접적으로 사용되는 플라즈마물성데이터의 사용을 위해 매년 300만달러 이상을 미국에 지급해 오고 있다.