녹색에너지연, 반도체 소재 플라즈마 후처리 기술개발
녹색에너지연, 반도체 소재 플라즈마 후처리 기술개발
  • 진경남 기자
  • 승인 2022.05.03 07:45
  • 댓글 0
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광학센서 등 기존 소재 결정성 취약점 보완 기대

[이투뉴스] 녹색에너지연구원(원장 주동식)은 다공성 칼코제나이드 반도체 소재의 결정성을 획기적으로 향상시키는 플라즈마 후처리 기술을 2일 개발했다.

칼코제나이드 반도체는 칼코젠(16족) 원소로 구성된 화합물로 높은 광학·전기적 특성을 지니고 있으며 광학 및 센서 소재로 많이 활용되고 있다. 칼코제나이드 반도체 소재는 열 또는 화학처리를 통해 소재 결정성을 향상시키는 후처리 기술이 많이 사용됐다. 이 기술은 반도체 소재의 특성이 변화되고 균일한 결정성을 확보하기 어렵다는 단점이 있다.

이번에 개발된 플라즈마 후처리 기술은 아르곤(Ar) 플라즈마 노출을 통해 소재 특성 변화를 최소화시키고 결정성을 향상시키는 기술로, 기존 칼코제나이드 반도체 소재의 단점을 보완했다. 플라즈마 침투성도 다공성 구조로 향상시켜 균일한 결정성도 확보하게 됐다.

이번 연구는 나종범 녹색에너지연구원 박사와 호주 퀸즐랜드 대학의 야마우치 유스케 교수 연구팀이 국제 공동연구로 수행하며 개발한 결과물이다.

나종범 박사는 “개발된 합성 및 후처리 기술은 다양한 무기 소재에 적용이 가능하다”며 “이번 연구가 광학센서, 광전기화학 및 에너지 분야 기존 소재의 취약점을 획기적으로 극복할 수 있을 것”이라고 말했다.

진경남 기자 jin07@e2news.com 


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