새만금 산단에 반도체용 가스시설 입주

[이투뉴스] 새만금개발청은 14일 전라북도, 군산시, 한국농어촌공사, 솔머티리얼즈와 산업용가스 제조시설 건립 투자협약을 체결했다. 솔머티리얼즈는 오는 10월 새만금 산단 3400m² 부지에 547억원을 투자해 공장을 착공하고 2024년 10월 가동할 예정이다.

솔머티리얼즈는 새만금 공장에서 반도체 제조공정 중 세척, 에칭(식각), 증착에 사용되는 이산화탄소(CO₂), 사불화탄소(CF₄), 사수소화게르마늄(GeH₄)을 연간 약 3만톤 생산할 계획이다.

또 품질관리와 안전한 공급을 위해 제품을 정교하게 분석하고 위험을 방지하는 시설과 시스템을 구축한다. 

허지행 솔머티리얼즈 대표는 “국가 산업발전의 핵심인 반도체용 가스산업의 발전과 함께 고객사, 지역사회와 동반성장할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.

김규현 새만금개발청장은 ”우리나라 신산업을 이끌어 나갈 새만금에서의 새로운 시작을 응원하며 솔머티리얼즈와 새만금의 상생 발전을 위해 모든 지원을 아끼지 않겠다”고 밝혔다.

한편 솔머티리얼즈는 한솔케미칼의 자회사로 2020년 한솔케미칼이 하나머티리얼즈의 가스 사업부를 인수해 출범했다. 현재 청주에 본사를 두고 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 초고순도 특수가스를 생산하고 있다. 

유정근 기자 e2news.com