반도체용 초순수 국산화 위한 연구개발 착수
반도체용 초순수 국산화 위한 연구개발 착수
  • 채덕종 기자
  • 승인 2021.07.15 17:29
  • 댓글 0
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환경부·수자원공사·환경산업기술원, 고순도 공업용수 통합R&D
공업용 초순수 생산기술 국산화 통해 국내 물산업 경쟁력 확보

[이투뉴스] 환경부(장관 한정애)가 한국수자원공사, 한국환경산업기술원과 함께 ‘고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합기술 개발’ 사업에 착수한다. 반도체 제조과정에서 반드시 필요한 초순수 생산기술을 국산화하기 위해서다.

초순수(Ultra Pure Water)는 반도체 생산공정 중에 나오는 부산물, 오염물 등을 세정할 때 쓰이는 필수 공업용수다. 초미세회로(nano meter)로 구성된 반도체를 세척해야하기 때문에 총유기탄소량(TOC) 농도가 ‘10억분의 1(ppb)’ 이하일 정도로 고순도를 유지해야 한다.

이번에 착수한 고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합기술 개발은 지난 2019년 일본의 수출규제에 대응하기 위한 조치 중 하나로 추진됐다. 국산기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공업용수를 생산 및 공급하는 기술을 국산화하는 것이 목표다.

그간 우리나라에서는 50% 가량의 반도체용 고순도 공업용수를 일본 등 해외업체에서 들여왔다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존해 수출규제 등 외부환경에 매우 취약한 상황이다.

환경부를 비롯한 민관 컨소시엄은 올해부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발에 착수했다. 더불어 수자원공사는 2025년까지 하루에 2400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치·운영할 계획이다.

기술개발은 ▲유기물 제거용 자외선 산화장치 ▲저농도 용존산소 제거용 탈기막 ▲고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 ▲고순도 공업용수 공정 및 수질 성능평가 ▲반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 세부과제별 기술개발을 목표로 2025년까지 추진한다.

고순도 공업용수 국산화에는 수자원공사 및 환경산업기술원, 산업기술시험원, 물기술인증원, 건설기술연구원 등 공공부문은 물론 에코셋, 네오텍, 클루, 세프라텍, 한성크린텍, 진성이엔씨, 태영건설, 해성엔지니어링, 디에치테크, 케에피아이엔디 등 민간도 참여한다. 환경부는 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대하고 있다.

김동진 환경부 수자원정책관은 “고순도 공업용수는 반도체뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등에서 수요가 확대되고 있다”며 “기술개발이 이뤄지면 해외 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외시장 진출 기반을 마련할 수 있을 것”이라고 밝혔다.

채덕종 기자 yesman@e2news.com 

 


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