램테크놀러지, 초고순도 불화수소 생산기술 국산화
램테크놀러지, 초고순도 불화수소 생산기술 국산화
  • 채제용 기자
  • 승인 2021.11.23 01:58
  • 댓글 1
이 기사를 공유합니다

세계 최고수준 순도 15N으로 기체·액체 동시생산
▲초고순도 불화수소 생산기술을 개발한 램테크놀로지 전경.
▲초고순도 불화수소 생산기술을 개발한 램테크놀로지 전경.

[이투뉴스] 반도체 소재 국산화기업인 램테크놀러지가 혁신적인 초고순도 불화수소 생산기술 개발을 완료하고 특허를 취득했다. 불화수소(HF)는 다양한 산업 분야에서 사용되고 있다.

이번 초고순도 불화수소 생산기술은 기존 초고순도 불화수소 생산방식과는 달리 한번에 액체와 기체형태의 초고순도 불화수소를 동시에 생산할 수 있는 게 특징이다. 또한 기존의 방식은 형석을 가지고 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 그리고 막분리법 등의 다양한 정제 공정을 통해야했지만, 램테크놀러지가 개발한 이번 생산방식은 이런 전처리과정이 생략된다.

무엇보다 불화수소의 순도가 혁신적이다. 초고순도 불화수소는 일반적으로 99.9999%(6N) 이상의 순도인 기체를 의미한다. 이번에 램테크놀러지가 개발한 불화수소 순도는 99.999999999999999(15N)으로, 현존하는 초고순도 불화수소 중 가장 순도가 높다. 세계 최고의 기술력으로 일본의 기술력을 앞섰다는 평가가 나온다.

램테크놀러지가 이번에 특허를 취득한 정제방법 및 정제장치는 연속 공정이 가능하고, APC 모듈로 공정을 제어함에 따라 자동 제어에 의한 24시간 운전이 가능하다. 저비용으로 초고순도 불화수소의 생산량 및 처리량을 향상시킬 수 있는 것이다.

종래 원료로 사용하는 불화수소의 전처리 없이 형석과 황산의 반응에 의해 제조된 조 불화수소를 사용함으로써 공정이 간소화됨과 동시에 전처리 비용이 저감된다. 더불어 조 불화수소 내 불순물의 조성이나 함량이 일정하지 않더라도 높은 효율로 초고순도 불화수소의 제조가 가능하다. 이렇게 제조된 초고순도 불화수소 수분의 농도가 최소화되어 안정도가 매우 높다.

이번 램테크놀러지의 초고순도 불화수소 생산법은 기존에 없던 혁신적인 생산법으로, 균일한 순도의 액체와 기체형태의 초고순도 불화수소를 생산할 수 있으며, APC모듈이라는 자체 개발한 자동 제어 시스템으로 24시간 생산이 가능하다.

램테크놀러지는 이번 초고순도 불화수소 생산기술 개발 및 특허 취득에 이어 연내 통과를 기다리는 국가전략산업 특별법을 통해 현재 당진 1신축공장 증설과 함께 내부적으로 검토 중인 용인 반도체클러스터 제2 신축공장 증설이 탄력을 받을 것으로 기대하고 있다. 이 같은 증설이 이뤄지면 SK하이닉스도 필요한 초고순도 불화수소 물량을 국내기업이 생산하는 물량으로 100% 충당할 수 있을 것으로 전망된다.   

채제용 기자 top27@e2news.com


댓글삭제
삭제한 댓글은 다시 복구할 수 없습니다.
그래도 삭제하시겠습니까?
댓글 1
댓글쓰기
계정을 선택하시면 로그인·계정인증을 통해
댓글을 남기실 수 있습니다.
1 2021-11-29 11:36:42
정정보도도 안 하니~그럴만해보이긴한다

  • 서울시 구로구 디지털로27길 36 809-2호(구로동, 이스페이스)
  • 대표전화 : 02-877-4114
  • 팩스 : 02-2038-3749
  • 청소년보호책임자 : 이재욱
  • 편집국장 : 채덕종
  • 편집인 : 이재욱
  • 제호 : ::: 글로벌 녹색성장 미디어 - 이투뉴스
  • 법인명 : (주)에너지환경일보
  • 등록번호 : 서울 다 07637 / 서울 아 00215
  • 등록일 : 2006-06-14
  • 발행일 : 2006-06-14
  • 발행인 : 이재욱
  • ::: 글로벌 녹색성장 미디어 - 이투뉴스 모든 콘텐츠(영상,기사, 사진)는 저작권법의 보호를 받은바, 무단 전재와 복사, 배포 등을 금합니다.
  • Copyright © 2021 ::: 글로벌 녹색성장 미디어 - 이투뉴스. All rights reserved. mail to webmaster@e2news.com
ND소프트